เมื่อความยาวในทิศทางหนึ่งน้อยกว่าความยาวในอีกสองทิศทาง โครงสร้างนี้เรียกว่าฟิล์มบาง ปัจจุบันนี้ การใช้งานอย่างต่อเนื่องของฟิล์มไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ฟิล์มกรองแสง ฟิล์มป้องกัน-ฟิล์มป้องกันออกซิเดชัน ฟิล์มแม่เหล็กขนาดยักษ์ ฟิล์มตัวนำยิ่งยวดอุณหภูมิสูง- ฯลฯ ในการผลิตทางอุตสาหกรรมและชีวิตมนุษย์ ความหนาของฟิล์มที่ผลิตในอุตสาหกรรมถือเป็นพารามิเตอร์ที่สำคัญมาก โดยตรง ซึ่งสัมพันธ์กับว่าวัสดุฟิล์มสามารถทำงานได้ตามปกติหรือไม่
โดยปกติความหนาของฟิล์มหมายถึงระยะห่างระหว่างพื้นผิวของวัสดุพิมพ์และพื้นผิวของฟิล์ม ในความเป็นจริง พื้นผิวของฟิล์มไม่เรียบและไม่ต่อเนื่องกัน และมีรูเข็ม รอยแตกขนาดเล็ก เส้นใยเส้นใย สิ่งเจือปน ข้อบกพร่องของ Lattice และโมเลกุลที่ดูดซับอยู่บนพื้นผิว ตัวอย่างเช่น ฟิล์มบางต่างๆ ในกระบวนการผลิตของวงจรรวมขนาดใหญ่-จะมีผลกระทบโดยตรงต่อประสิทธิภาพของวงจรรวม เนื่องจากการปรับปรุงระดับการรวมวงจรอย่างต่อเนื่อง และการเปลี่ยนแปลงเล็กๆ น้อยๆ ในความหนาของฟิล์มบาง นอกจากนี้คุณสมบัติทางกล คุณสมบัติการส่งผ่านแสง คุณสมบัติแม่เหล็ก การนำความร้อน โครงสร้างพื้นผิว ฯลฯ ของวัสดุฟิล์มบางมีความสัมพันธ์อย่างใกล้ชิดกับความหนา ดังนั้น การวัดความหนาของฟิล์มในกระบวนการผลิตแบบออนไลน์ที่แม่นยำจึงเป็นวิธีการสำคัญในการรับรองคุณภาพของผลิตภัณฑ์และปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต
สำหรับการวัดความหนาของฟิล์มที่แม่นยำ ขึ้นอยู่กับชนิดของเซ็นเซอร์ความหนาที่ใช้ ปัจจุบันเทคโนโลยีการตรวจจับความหนาของฟิล์มออนไลน์มีหลายวิธีเป็นหลัก:
1. หัววัดเบต้าเป็นเซ็นเซอร์ที่เก่าแก่ที่สุดที่ใช้สำหรับการตรวจจับฟิล์มบาง ใช้แหล่งกำเนิดรังสีเบต้าเป็นแหล่งสัญญาณ และเทคโนโลยีก็เติบโตเต็มที่ อย่างไรก็ตาม จำเป็นต้องมีใบอนุญาตสำหรับการใช้แหล่งกัมมันตภาพรังสี และขั้นตอนการนำเข้าและส่งออกค่อนข้างซับซ้อน อายุการใช้งานมีขีดจำกัดครึ่งหนึ่ง- และความแม่นยำในการตรวจจับจะลดลงตามการลดทอนของแหล่งกำเนิดกัมมันตภาพรังสี
2. หัววัดอินฟราเรดใช้หลักการที่ว่าแถบอินฟราเรดจำเพาะจะถูกดูดซับอย่างแรงในฟิล์มพลาสติกเฉพาะเพื่อวัดความหนาของฟิล์ม เซ็นเซอร์มีความเสถียรในการตรวจจับและไม่ได้รับผลกระทบจากการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อม แต่มีความไวต่อการเปลี่ยนแปลงของสารเติมแต่งและสี และไม่เหมาะที่จะผลิตผลิตภัณฑ์หลายรายการในสายการผลิตเดียวกัน
3. โพรบรังสีเอกซ์-ใช้หลอดรังสีเอกซ์-เพื่อสร้างรังสีเอกซ์-เป็นแหล่งสัญญาณในการตรวจจับความหนาของฟิล์มพลาสติก มีข้อดีหลายประการ: วัสดุกัมมันตภาพรังสีที่บินได้; พลังงานต่ำไม่จำเป็นต้องมีใบอนุญาต ช่วงการวัดที่กว้าง ความแม่นยำในการวัดสูง พลาสติกทุกชนิดสามารถตรวจวัดได้โดยไม่ได้รับผลกระทบจากสารเติมแต่งและมาสเตอร์แบทช์สี
ปัจจุบันเครื่องมือวัดความหนาของฟิล์มได้พัฒนาให้มีความแม่นยำสูงและเป็นอัตโนมัติและถึงระดับที่สูงมากแล้ว ความแม่นยำในการวัดคือ ±2% ถึง ±5% ของความหนาของฟิล์มที่วัดได้สำหรับชั้นฟิล์มทั่วไป และ ±2nm สำหรับฟิล์มบาง และมีฟังก์ชันการวัดพื้นที่ขนาดเล็ก ความเร็วในการวัดที่รวดเร็ว และระบบอัตโนมัติในระดับสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งกับความก้าวหน้าของเทคโนโลยีและการประยุกต์ใช้เครื่องมือที่มีความแม่นยำ นอกเหนือจากวิธีการเทคโนโลยีการตรวจจับข้างต้นแล้ว ยังสามารถวัดความหนาของฟิล์มด้วยเซ็นเซอร์อัลตราโซนิคได้อีกด้วย เซ็นเซอร์อัลตราโซนิก MaxBotix แนะนำโดย Gongcai-MB7480 เป็นเครื่องวัดระยะทางอัลตราโซนิคความแม่นยำสูงประสิทธิภาพสูง ให้การวัดระยะทางอัลตราโซนิกในอากาศที่มีความแม่นยำสูงและมีความละเอียดสูง
